文献类型：期刊文章

作　　者：王晓栋[1] 沈军[1] 王生钊[1] 张志华[1]

机构地区：[1]同济大学,波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海200092

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2008AA8041606);国家自然科学基金(批准号:50752001;50802064)资助的课题~~

年　　份：2009

卷　　号：58

期　　号：11

起止页码：8027-8032

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000271835200101)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000271835200101)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：以钛酸丁酯为前驱体,采用溶胶-凝胶工艺成功制备了TiO2薄膜.利用反射式椭圆偏振光谱仪测量了薄膜的椭偏参量Ψ和Δ,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,得到了薄膜的厚度和光学常数在380—800nm的色散关系.用分光光度计测量了薄膜的反射率,并用干涉法计算薄膜的厚度;使用原子力显微镜观测了薄膜的表面微结构,分析讨论了不同退火温度处理的薄膜微结构与光学常数之间的关系.研究结果表明,Cauchy模型能较好地符合溶胶-凝胶TiO2薄膜的光学常数色散关系,得到了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化规律;薄膜光学常数的大小与薄膜的微结构有关;理论模拟的反射率与实际测量的反射率非常符合;干涉法计算得到的薄膜厚度,与椭偏光谱测试的结果也一致,两者相对偏差仅为2.5%左右.

关 键 词：光学常数 TIO2薄膜 溶胶-凝胶 椭圆偏振

分 类 号：O484.1]