文献类型：期刊文章

作　　者：汪超男[1] 李爱玲[2] 周有铮[1] 王喆壵[1] 刘理天[1]

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084 [2]解放军装备指挥技术学院,北京102249

出　　处：《清华大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60871006)

年　　份：2009

期　　号：11

起止页码：1876-1879

语　　种：中文

收录情况：AJ、AMR、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、MR、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。

关 键 词：压阻 悬臂梁传感器  掺杂 表面应力

分 类 号：TN4]