期刊文章详细信息
基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计
MEMS-based Micro-silicon Piezoresistive Accelerometer Design
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆城市管理职业学院信息工程学院,重庆400055
年 份：2009
卷 号：22
期 号：10
起止页码：40-42
语 种：中文
收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、IC、INSPEC、RCCSE、普通刊
摘 要：随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。
关 键 词：微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅
分 类 号：TP212]
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