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CVD金刚石膜将成为金刚石材料未来发展的主流
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郑州磨料磨具磨削研究所 [2]华中金刚石工具制造有限公司
年 份：2009
期 号：8
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：内刊
摘 要：1．引言 化学气相沉积CVD金刚石薄膜是继动态与静态法合成金刚石后，出现的一种与前两种方法完全不同的方法。按照传统的金刚石合成机制，用这种方法也能合成金刚石，简直让人不可思议。可是用这种方法合成出了金刚石已是不争的事实。
关 键 词：金刚石材料 CVD金刚石膜 CVD金刚石薄膜 合成金刚石 化学气相沉积 合成机制 静态法
分 类 号：TQ127.1] TB43]
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