期刊文章详细信息
单晶硅超精密切削加工表面粗糙度预测模型的建立及试验研究
Study on establishing and testing for ultra-precision machining single crystal silicon surface roughness of prediction model
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳飞机工业集团有限公司,辽宁沈阳110034 [2]沈阳市特种设备检测研究院,辽宁沈阳110035 [3]沈阳航空工业学院航空制造工艺数字化国防重点学科实验室,辽宁沈阳110136
年 份：2009
卷 号：26
期 号：3
起止页码：29-32
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：利用超精密机床进行切削加工时,对于操作者来说,首先面临的问题是最优切削用量组合的确定,这也是最让操作者感到棘手的问题。单晶硅成功的切削过程取决于优化工艺参数,比如进给量、背吃刀量、切削速度等。为了建立精确可靠的表面粗糙度预测模型,本文将遗传基因算法应用于回归分析,同时在超精密机床上对该预测模型进行了试验验证。
关 键 词：单晶硅 超精切削加工 预测模型
分 类 号：TH161.5]
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