期刊文章详细信息
热处理对SnO_2薄膜光学特性的影响
The Influence on the Optical Propertiesof Thin Film SnO2 by Heat Treatment
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]内蒙古大学新能源研究中心
基 金：国家重点科技攻关资助
年 份：1998
卷 号：29
期 号：4
起止页码：494-498
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、普通刊
摘 要：用真空蒸发方法在玻璃衬底上沉积ＳｎＯ２薄膜．在氮气、氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件的热处理．实验表明，热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善．
关 键 词：薄膜 热处理 光学特性 二氧化锡 PVD法
分 类 号：O484.41]
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