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基于微机电系统CAD研究分析
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]湘潭职业技术学院机电系,湖南湘潭411102
年 份：2009
卷 号：29
期 号：3
起止页码：95-96
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用.本文概述了微机电系统CAD的研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作.重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则.以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化.
关 键 词：微机电系统(MEMS) 计算机辅助设计(CAD) 设计原则
分 类 号：P393[地球物理学类]
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