期刊文章详细信息
微型硅半导体低温温度计的特性与制作工艺
Characteristics and Making Technology of Miniture Silicon Diod Thermometers Used in Cryogenics
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津商学院制冷工程系 [2]天津市第四半导体器件厂 [3]西安交通大学能动学院
年 份：1998
卷 号：26
期 号：2
起止页码：37-41
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、核心刊
摘 要：论述了微型硅半导体低温温度计的各种优良特性，并运用电子材料及其工艺原理设计了一套保证其具有优良特性的制作工艺。通过测量可知，这种温度计在液氮温度下具有良好的复现性（＜０．０４Ｋ），且其电压信号与温度信号之间具有良好的线性关系，可望在低温工程中获得广泛的应用。
关 键 词：硅 半导体 低温温度计 制作工艺 温度计
分 类 号：TH811[仪器类]
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