文献类型：期刊文章

作　　者：王浩宇[1] 曹建[1] 安晨光[2]

机构地区：[1]中南大学物理科学与技术学院,长沙410083 [2]北京华电云通电力技术有限公司,北京100069

出　　处：《传感技术学报》

年　　份：2009

卷　　号：22

期　　号：7

起止页码：1050-1054

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对传统的气体热导检测器在气体检测应用中存在检测精度差、灵敏度低、温度漂移大的缺点,本设计采用新型的MEMS气体热导传感器,设计了一种高性能的气体浓度检测系统。设计了一种高精度的双恒流源电路对电桥供电,运用微信号检测技术和温度补偿手段,采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法,有效的抑制了各种类型的噪声干扰,提高了系统测量的精度与灵敏度,实现了微量气体浓度的准确测量,克服了传统气体热导检测的缺点。

关 键 词：MEMS TCD TCS208F  滤波 噪声

分 类 号：TP212.9]