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脉冲压缩光栅光学拼接方法研究 ( EI收录)
Research on the Multi-Exposure Method to Fabricate Pulse Compression Mosaic Grating
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]国林苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006
基 金:国家自然科学基金(60808013);江苏省高校自然研究计划(08KJBl40009);江苏省高校省级重点实验室开放课 题(KJS0804);江苏省高校自然重大基础研究(07KJA51002)资助项目
年 份:2009
卷 号:29
期 号:7
起止页码:1943-1946
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:20094512429721)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:脉冲压缩光栅是激光约束核聚变系统中的重要光学元件。随着激光约束核聚变工程的快速发展,对光栅的口径要求越来越大。全息技术是制造大口径脉冲压缩光栅的重要手段,其制作的光栅大小受限于记录光学系统口径。为了制造出超大口径的脉冲压缩光栅,提出了一种采用多次曝光拼接技术制作大口径脉冲压缩光栅的方法。该方法采用参考光栅作为检测元件,利用其再现的光学特性,以检测记录干涉光场与已记录光栅之间位相匹配情况,并利用条纹锁定系统控制记录干涉光场的相位,实现光学拼接制作大口径脉冲压缩光栅的目的。开展了1740lp/mm光栅拼接实验研究,拼接对准精度优于30 nm。
关 键 词:光栅 拼接 叠栅条纹 脉冲压缩
分 类 号:O436]
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