文献类型：期刊文章

作　　者：严伟[1] 张筱朵[1] 徐帆[1] 徐波[1]

机构地区：[1]江苏英特神斯科技有限公司,江苏南京210005

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：Supported by CTin Jiangsu Province(Grant No.BA2008008)

年　　份：2009

卷　　号：17

期　　号：6

起止页码：1448-1452

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20093112227865)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了一种用于MEMS设计的六面体网格划分方法。MEMS工艺决定了大部分MEMS模型都是层状结构,本文针对这种结构提出了一种简便的2.5维划分方法,适用于所有面平行于(x,y)平面或者z轴的层状结构。该方法在(x,y)平面内将模型划分为四边形网格,然后在z方向延伸形成六面体。相比于如今使用最多的Sweep划分算法,它在划分前的预处理更少,由于仅仅需要输入划分大小,使得整个划分过程更加方便,速度也比Sweep方法快了10～1000倍,10000个六面体以内的划分可在10s内完成。同时,该方法也可以通过输入工艺过程参数按照实际MEMS工艺步骤产生3维MEMS模型,完成从2维版图到3维网格的直接生成。

关 键 词：微机电系统 2.5维六面体网格划分  2.5维结构  

分 类 号：TP391]