文献类型：期刊文章

作　　者：尹亮[1] 陈伟平[1,2] 刘晓为[1,2] 周治平[1]

机构地区：[1]哈尔滨工业大学微电子技术与科学系,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：Supported by the National High-Tech Research and Development Program of China(863 Program)(Grant No .08AA04XK1468338)

年　　份：2009

卷　　号：17

期　　号：6

起止页码：1311-1315

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20093112227841)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用高压18V CMOS集成电路工艺,设计了一种开关电容闭环加速度计接口电路芯片。芯片电路中包括开关电容型电荷敏感放大器,PID控制电路以及相关双采样电路。采用相关双采样技术并用大面积PMOS晶体管作前级放大器输入级来消除放大器的1/f噪声、失调电压及KT/C噪声;用高环路增益及静电力平衡技术消除后级电路的1/f噪声、电荷注入和时钟馈通。在相同电极的条件下,利用电荷检测与静电力反馈时域分离法,有效地消除了驱动馈通的影响。设计的芯片采用18V电源电压供电,闭环加速度计刻度因子为420mV/g,噪声密度为10μg/2～1/(Hz) ,芯片面积为15.2mm2。

关 键 词：接口电路 闭环加速度计  开关电容 惯性传感器

分 类 号：TH824.4[仪器类]