期刊文章详细信息
超高压清洗技术的应用
Application of Supper High Pressure Cleaning Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京清大天达光电科技有限公司,北京100000
年 份：2009
期 号：3
起止页码：76-77
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：叙述了采用常压喷淋清洗模式,容易在玻璃表面形成很薄的水膜,因此降低清洗效率,且用水量巨大的问题以及开发出的超高压喷淋清洗装置,不但可以提高清洗效率,也大幅降低DI(去离子)水的使用量。
关 键 词：超高压微细颗粒喷淋清洗(HPMJ) 玻璃基板 清洗工艺 污染物
分 类 号：TM621]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
