期刊文章详细信息
类金刚石膜的制备方法和性能
Preparation Method and Performance of DLCF
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]绍兴文理学院物理与电子信息系,浙江绍兴312000
基 金：国家自然科学基金资助项目(60776004)
年 份：2009
卷 号：23
期 号：6
起止页码：165-171
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法进行了介绍.
关 键 词：类金刚石膜 制备方法 结构
分 类 号：TB383.2[材料类]
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