文献类型：期刊文章

作　　者：王涛[1] 王晓东[2] 王立鼎[2]

机构地区：[1]武汉科技大学机械自动化学院,武汉430081 [2]大连理工大学微系统研究中心,辽宁大连116024

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：国家自然科学基金重点基金资助(50535030);电子测试技术国家重点实验室基金资助

年　　份：2009

卷　　号：22

期　　号：6

起止页码：785-789

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn。

关 键 词：压电陶瓷 动态响应  MEMS 加速度

分 类 号：TH825[仪器类] O329]