文献类型：期刊文章

作　　者：林伟[1,2,3] 黄世震[1,2,3] 陈文哲[1]

机构地区：[1]福州大学材料科学与工程学院,福州350002 [2]福州大学物理与信息工程学院,福州350002 [3]福建省微电子集成电路重点实验室,福州350002

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：科技部863项目的支持(2007AA03Z325)

年　　份：2009

卷　　号：22

期　　号：6

起止页码：771-775

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用射频反应磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管(MWCNTs)的SnO2薄膜材料,并在此基础之上制作了NO2气敏传感器,使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了SnO2/MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份等材料特性,采用气敏元件测试系统来分析传感器的气敏效应,包括灵敏度、选择性、响应-恢复等特性,实验结果表明该气敏传感器对超低浓度(10ppb)NO2气体有很好的灵敏度,对干扰气体不敏感,提出了气敏机理解释实验现象。

关 键 词：SnO2/MWCNTs材料  射频反应磁控溅射 气敏元件 NO2  

分 类 号：TP212.2]