文献类型：期刊文章

作　　者：吴英[1] 江永清[2] 李斌[3] 向毅[1] 许迪[1] 聂洪彬[1]

机构地区：[1]重庆科技学院电子信息工程学院,重庆401331 [2]重庆光电技术研究所,重庆400060 [3]四川石油管理局重庆公共事务中心,重庆400021

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60876088);重庆市科委自然科学基金资助项目(2007BB3220)

年　　份：2009

卷　　号：30

期　　号：3

起止页码：389-391

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路。

关 键 词：碳纳米管 气相生长 FIB

分 类 号：TN405]