期刊文章详细信息
压电双晶片作为驱动的精密定位机构研究
Study on Precision Positioning Mechanism Driven by PZT Bimorph
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454000 [2]河南理工大学国有资产管理处,河南焦作454000
年 份：2009
卷 号：27
期 号：6
起止页码：39-41
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：设计了一种用柔性铰链作为弹性导轨，压电双晶片作为驱动器，结合三角型放大原理实现的精密定位机构，并采用精密电感式微位移传感器（LVDT）进行位移检测。实验表明，该精密定位机构运动范围为0～25μm，定位精度达到15nm。
关 键 词：压电双晶片 精密定位机构 柔性铰链
分 类 号：TN384]
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