期刊文章详细信息
专家PID温度控制在高真空磁控溅射镀膜机中的应用研究
Study On Expert PID Temperature Control in High Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]合肥师范学院物理与电子工程系,安徽合肥230061 [2]合肥工业大学机汽学院,安徽合肥230009
年 份：2009
卷 号：27
期 号：3
起止页码：56-59
语 种：中文
收录情况：NSSD、普通刊
摘 要：高真空磁控溅射镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,温度控制的好坏直接影响到成膜质量。本文研究了专家PID算法的原理和实现方法,并将其应用到温度控制系统中;就常规PID算法和专家PID算法在温度控制上的应用开展了仿真比较;设计和实现了基于专家PID算法的高真空磁控溅射镀膜机温度控制系统。事实表明,基于专家PID算法的温控系统可以对镀膜室温度实现很好的控制。
关 键 词：温度控制 专家PID 参数整定
分 类 号：TP273.24]
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