期刊文章详细信息
超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型 ( EI收录)
A Coupled Theoretical Model of the Mechanism of Ultrashort Laser Ablation of Dielectrics
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]东南大学,机械工程学院设计工程系,南京210096 [2]东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京210096
基 金:国家自然科学基金(50275026);江苏省自然科学基金(BK2002060)资助
年 份:2009
卷 号:38
期 号:5
起止页码:1029-1034
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:基于电子能带理论,以动力论的Fokker_Planck方程为基础,从微观层次对超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料的机理进行分析研究.源项中分别考虑了雪崩电离、多光子电离机制,并考虑了电子能量与散射机制对电子弛豫时间的影响.建立了绝缘体烧蚀机理的耦合数学模型,其计算的激光烧蚀临界能量密度阀值与实验结果很好的吻合.定量描述了超短脉冲激光对绝缘体材料烧蚀微观过程的影响.
关 键 词:超短脉冲激光 雪崩电离 多光子电离 烧蚀损伤
分 类 号:TN249]
参考文献:
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引证文献:
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同被引文献:
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