文献类型：期刊文章

作　　者：杨莉[1] 陈强[1] 张受业[1]

机构地区：[1]北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京102600

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2009

卷　　号：29

期　　号：3

起止页码：292-297

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20092712164412)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(Raman)分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;另外,还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验得到:FTIR、Raman谱图分析发现碳氢膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物呈层状堆积而成,其组分与沉积参数密切相关;同时,sp2和sp3杂化比例影响所制备薄膜的致密性、均匀性和耐磨性能。

关 键 词：PECVD 类金刚石膜 结构分析  摩擦性能  

分 类 号：TB43]