文献类型：期刊文章

作　　者：杜艳丽[1] 杨静[1] 严惠民[2]

机构地区：[1]郑州大学物理工程学院电子科学技术系,郑州450052 [2]浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心,杭州310027

出　　处：《光电工程》

基　　金：国家高科技863计划资助项目

年　　份：2009

卷　　号：36

期　　号：5

起止页码：140-144

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：差分白光干涉法测量极薄金属带材厚度时,为了克服传统极值法在白光干涉谱数据处理中抗噪声能力差的缺点,提出了一种基于最小均方差(MMSE)意义下的小波变换处理方法。该方法首先对干涉谱测量值进行归一化处理,消除低频光强变化的影响,并用极值法求得光程差(OPD)的初值。然后求归一化后的干涉谱与基于初值的理想干涉谱之间的均方差,当干涉谱的光程差的某个估计值与实际值最接近时,对应的干涉谱的均方差最小。通过逼近法获得均方差最小时对应的估计值。数值仿真和实验结果表明,利用该方法处理差分白光干涉谱数据,可以获得优于极值法的更高的数据精度,而且有效地提高了信噪比。

关 键 词：差分白光干涉  双路  干涉谱  小波变换 均方差 数据处理 信噪比

分 类 号：TN247]