文献类型：期刊文章

作　　者：郭战营[1,2] 蒋海涛[2] 张庆丰[1]

机构地区：[1]郑州大学物理工程学院,河南郑州450052 [2]焦作师范高等专科学校物理系,河南焦作454001

出　　处：《信阳师范学院学报（自然科学版）》

基　　金：河南省自然科学基金资助项目(0711013600)

年　　份：2009

卷　　号：22

期　　号：2

起止页码：284-286

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、IC、JST、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、普通刊

摘　　要：通过高温工艺或退火工艺均能在合适的条件下获得性能良好的ITO透明导电薄膜,但通过扫描电镜(SEM)发现这两种制备方式所得样品具有很大的表面形貌差异.在薄膜电池前电极的制备过程中为了增强其陷光作用应采用直接制备的方法,而为了增强A l背电极的光反射作用,背部的透明导电膜应采用在合适温度下的退火工艺.

关 键 词：ITO薄膜 电子束蒸发 前电极 背电极

分 类 号：TQ174.75]