期刊文章详细信息
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究
MICROFABRICATION TECHNIQUE FOR DIFFRACTION PATTERNS OF X RAY BRAGG FRESNEL OPTICAL DEVICE
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所 [2]长春煤炭科技中心
基 金：国家自然科学基金
年 份：1998
期 号：2
起止页码：45-50
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定，金属吸收层厚度的计算，制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
关 键 词：衍射图形 微制造技术 B-F元件 X射线
分 类 号：O434.1] TN405]
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