期刊文章详细信息
磁控溅射太阳能电池预镀Mo薄膜及其性能
Properties of Mo films precursor of solar cells by magnetron sputtering
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]辽宁科技大学工程训练中心,辽宁鞍山114051 [2]鞍钢技术中心,辽宁鞍山114009 [3]东北大学,辽宁沈阳110006
年 份：2009
卷 号：32
期 号：2
起止页码：122-125
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备,研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度的影响,并对Mo膜的物理性能及电学性能进行了研究。结果表明,Mo薄膜的厚度与溅射时间近似的成正比关系,Mo膜的电阻率先降低,并在膜厚为0.3μm处达到最低,而后电阻率逐渐增加。
关 键 词：太阳能电池 磁控溅射 MO薄膜
分 类 号：TB43]
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