文献类型：期刊文章

作　　者：陈国强[1] 张维强[2] 彭文静[1]

机构地区：[1]湖南工程学院工程训练中心,湖南湘潭411104 [2]南京农业大学工学院,南京210031

出　　处：《机械设计与研究》

年　　份：2009

卷　　号：25

期　　号：2

起止页码：19-22

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了三维表面微观形貌的检测方法,分析了采用高斯滤波提取基准中面的原理,针对研磨表面形貌的表征选取了一组Areal表征参数。运用原子力显微镜(AFM)扫描研磨工件的表面,采用高斯滤波提取基准中面进而分离出表面微观形貌的三维信息,在此基础上计算出表征参数值。试验表明研磨表面微观形貌呈现高斯分布规律,采用高斯滤波方法及所选的Areal表征参数能够有效地表征研磨表面的三维微观形貌。

关 键 词：微观形貌 Areal表征  原子力显微镜 高斯滤波

分 类 号：TH161.14]