期刊文章详细信息
荷能粒子在类金刚石膜形成中的作用
Effects of Energy Particles in the Formation of DLC Films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川联合大学无机材料系
年 份：1998
卷 号：17
期 号：2
起止页码：43-45
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜），但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用。
关 键 词：类金刚石 荷能粒子 金刚石薄膜
分 类 号：TQ163]
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