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宽束冷阴极离子源及其应用
BROAD BEAM COID CATHOD ION SOURCE AND ITS APPIICATION
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安工业学院仪器工程系 [2]西安工业学院科研处
年 份：1989
期 号：4
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：CAS、IC、UPD、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文介绍一种新研制的用于离子束辅助淀积薄膜的宽束冷阴积离子源,与目前国内外普遍采用的考夫曼(Kaufman)型热阴极离子源相比,它具有寿命长,无污染,结构简单,所需供电电源少,操作方便等优点。实验结果证明,用宽束冷阴极离子源进行离子束辅助淀积所得 Zns 膜层强度超过国标规定的10倍,G|AlSIO_x|A膜层强度超过国标规定的8倍。该离子源有广泛的应用前景。
关 键 词：离子源 辉光放电 离子束辅助淀积 薄膜淀积
分 类 号：T-55]
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