期刊文章详细信息
用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航空精密机械研究所
年 份：1995
卷 号：31
期 号：2
起止页码：35-39
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：叙述了双频激光干涉仪在精密和超精密测长技术领域中的应用，讨论了双频激光干涉仪所涉及的关键技术，提出了在应用中需要进行的误差处理，目的是提高在精密和超精密测长应用中的测量精度。
关 键 词：双频激光干涉仪 精密测长
分 类 号：TH744.3]
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