文献类型：期刊文章

作　　者：靳瑞敏[1,2] 肖东岳[1] 苍利民[2] 阎韬[2] 徐建军[2] 韩香菊[2]

机构地区：[1]南阳理工学院太阳能电池研究所,河南南阳473004 [2]安彩高科股份有限公司博士后工作站,河南安阳455000

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家高技术产业计划项目(No.发改办高技072490);河南省基础与前沿基础研究项目(No.072300410310)资助

年　　份：2010

卷　　号：39

期　　号：S1

起止页码：72-74

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.

关 键 词：溶胶-凝胶 SiO2减反膜  催化剂 薄膜结构  

分 类 号：O484.41]