文献类型：期刊文章

作　　者：薛春荣[1,2,3] 易葵[2] 魏朝阳[2] 邵建达[2] 范正修[2]

机构地区：[1]常熟理工学院江苏新型功能材料实验室,江苏常熟215500 [2]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800 [3]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家自然科学基金项目(60678004)

年　　份：2009

卷　　号：21

期　　号：2

起止页码：287-290

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20091712054065)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了真空紫外到深紫外波段常用的基底材料，给出了常用基底材料的光学特性和在真空紫外波段的截止波长，测量了这些材料在120～500nm的透过率，给出了通过透过率计算弱吸收基底光学常数的计算方法，并用该方法得到了熔石英、氟化镁晶体、氟化钙晶体、氟化锂晶体在120～500nm的折射率和消光系数，对这些常用基底的使用范围和特点进行了一定的比较和分析，并将所得基底的光学常数与公开发表的文献进行了比较，证明了所得结果的可靠性。

关 键 词：深紫外 真空紫外 弱吸收基底  透过率 消光系数

分 类 号：TB43]