文献类型：期刊文章

作　　者：张志明[1] 何贤昶[1] 沈荷生[1] 李胜华[1]

机构地区：[1]上海交通大学微电子技术研究所

出　　处：《上海交通大学学报》

基　　金：国家863高科技基金资助项目;上海市科技发展基金

年　　份：1998

卷　　号：32

期　　号：3

起止页码：103-106

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：1998064262643)、IC、INSPEC、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：以压痕法涂层破碎时的负荷来评估附着力，采用稀盐酸对衬底进行表面处理，在ＣＶＤ沉积过程中添加适量粘结促进剂以压抑金属钴的催化墨化作用，沉积合适的厚度，可在硬质合金衬底上得到高附着力的金刚石涂层刀具．用该刀具对含碳化硅颗粒的铝基复合材料进行切削试验，得到了满意的结果．

关 键 词：金刚石涂层 刀具 附着力 切削试验  CVD

分 类 号：TG711]