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基于I-V特性的阻变存储器的阻变机制研究
Resistive Switching Mechanisms for Nonvolatile Resistive Random Access Memory Based on I-V Characteristic
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京100029 [2]兰州大学物理科学与技术学院微电子研究所,兰州730000 [3]安徽大学电子科学与技术学院,合肥230039
基 金:国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA031403);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB302706);国家自然科学基金资助项目(60825403,90607022,60506005)
年 份:2009
卷 号:46
期 号:3
起止页码:134-140
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:随着器件尺寸的缩小,阻变存储器(RRAM)具有取代现有主流Flash存储器成为下一代新型存储器的潜力。但对RRAM器件电阻转变机制的研究在认识上依然存在很大的分歧,直接制约了RRAM的研发与应用。通过介绍阻变存储器的基本工作原理、不同的阻变机制以及基于阻变存储器所表现出的不同I-V特性,研究了器件的阻变特性;详细分析了阻变存储器的五种阻变物理机制,即导电细丝(filament)、空间电荷限制电流效应(SCLC)、缺陷能级的电荷俘获和释放、肖特基发射效应(Schottky emission)以及普尔-法兰克效应(Pool-Frenkel);同时,对RRAM器件的研究发展趋势以及面临的挑战进行了展望。
关 键 词:阻变存储器 非挥发性存储器 I-V特性 阻变机制 工作原理
分 类 号:TN304.21] TP333.8]
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