文献类型：期刊文章

作　　者：季鑫[1] 宓一鸣[2] 周细应[1]

机构地区：[1]上海工程技术大学材料工程学院,上海201620 [2]上海工程技术大学基础教学学院,上海201620

出　　处：《热加工工艺》

基　　金：上海工程技术大学创新基金项目(A0500E76308);上海市科技发展基金资助项目(07ZZ159);上海市重点学科建设资助项目(J51402)

年　　份：2009

卷　　号：38

期　　号：4

起止页码：81-84

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：综述了TiN薄膜的制备方法及进展,介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种TiN薄膜的制备方法,评述了各种制备工艺的优缺点。介绍了TiN薄膜在超硬耐磨、耐腐蚀等方面研究的新进展,最后对TiN薄膜的应用范围和领域作了展望。

关 键 词：TIN薄膜 气相沉积 激光熔融  离子镀

分 类 号：TB383[材料类]