文献类型：期刊文章

作　　者：刘恒彪[1] 刘成林[1]

机构地区：[1]同济大学理学部,上海200092

出　　处：《光学学报》

基　　金：教育部留学回国人员科研启动基金(教外司留[2005]383号)资助项目

年　　份：2009

卷　　号：29

期　　号：3

起止页码：697-701

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20091412008366)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于角度散斑相关原理开展了对喷砂表面粗糙度样块的粗糙度测量实验研究。通过对散斑图像数据的处理和分析,提出了求取角度散斑相关系数最大值的滑动相关算法。该算法能有效克服表面不平度、波度等因素的不利影响。从最佳测量条件出发,提出了最佳入射角增量的概念,并在此基础上形成了包括散斑图像采集过程和图像数据处理方法在内的一整套表面粗糙度测量方法。该测量方法的核心是对被测表面的多个激光照明区域和多个激光入射角下的远场散斑图像的采集及数据处理。实验结果表明,应用本测量方法得到的轮廓均方根偏差最佳估计值σ_p与表面样品给定的轮廓算术平均偏差R_a成很好的线性关系。

关 键 词：光学测量 表面粗糙度 激光散斑 角度散斑相关方法  滑动相关算法  最佳测量条件  

分 类 号：TH741]