期刊文章详细信息
特气业与半导体业的发展近况
Recent Developments of The Specialty Gases And Semiconductor Industry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连116031
年 份：2009
卷 号：27
期 号：1
起止页码：4-8
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：首先综述了我国半导体产业近年发展概况,然后论述了特气相关行业的配套发展问题,同时也介绍了世界及我国知名气体企业的应对措施。
关 键 词：半导体 晶圆 集成电路 特种气体 配套
分 类 号：F426.7] F426.63
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