文献类型：期刊文章

作　　者：吕建国[1,2] 宋学萍[1] 孙兆奇[1]

机构地区：[1]安徽大学物理与材料科学学院,合肥230039 [2]合肥师范学院物理与电子工程系,合肥230061

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金项目(50642038);教育部博士点专项基金项目(20060357003);安徽省人才专项基金项目(2004Z029);安徽科技厅重点项目(07020203009);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2007B135);安徽省高等学校青年教师科研资助计划项目(2006jql192);安徽大学人才队伍建设基金资助课题

年　　份：2009

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：71-74

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪观察采用溶胶-凝胶法制备的Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌、透射光谱和光致发光谱。结果表明,Al掺杂量为0.5at%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0at%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,粗糙度增大到4.625。样品在可见光范围内的平均透过率均大于80%。当激发波长为325 nm时,在397 nm(3.13 eV)附近出现紫外发光峰;当激发波长为360 nm时,在443 nm(2.80 eV)附近出现蓝色发光峰。探讨了样品的蓝光发光机制。

关 键 词：Al掺杂ZnO薄膜  粗糙度 光致发光 透射光谱

分 类 号：O484]