期刊文章详细信息
椭偏法测膜厚的直接计算方法
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]云南大学物理系,昆明650091
年 份：1998
卷 号：18
期 号：1
起止页码：11-13
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：改进了椭偏法测薄膜折射率和膜厚的迭代计算方法，由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出薄膜折射率和膜厚．
关 键 词：椭偏法 迭代计算 薄膜 折射率 膜厚
分 类 号：O484.5]
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