期刊文章详细信息
微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用
Measurement Mapping Technique of Sheet Resistance for Microarea Using Microprocessor
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]河北工业大学电子工程系 [2]天津计量技术研究所 [3]天津第四半导体器件厂
基 金:国家自然科学基金
年 份:1998
卷 号:23
期 号:2
起止页码:18-23
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要:利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法,将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图,这种Mapping技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器,可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻,加快了计算速度并有利于控制探针的合适位置。
关 键 词:微区薄层电阻 探针技术 微处理器 测试 IC
分 类 号:TN407] TP332.062]
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