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期刊文章详细信息

压力传感器的研究现状与发展趋势    

Current Status and Future Development in the Field of Pressure Sensor

  

文献类型:期刊文章

作  者:吕惠民[1] 田敬民[1]

机构地区:[1]西安理工大学应用物理系器件教研室

出  处:《半导体技术》

年  份:1998

卷  号:23

期  号:2

起止页码:11-13

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘  要:论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。

关 键 词:压力传感器 线性度 测量  

分 类 号:TH812[仪器类] TP212]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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