文献类型：期刊文章

作　　者：张德银[1,2] 黄大贵[2] 李金华[3]

机构地区：[1]中国民航飞行学院航空工程学院,广汉618307 [2]电子科技大学机电工程学院,成都610054 [3]江苏工业学院功能材料实验室,常州213016

出　　处：《电子测量与仪器学报》

基　　金：国家自然科学基金(60572007);中国民航总局科技基金(MHRD0712)项目资助

年　　份：2009

卷　　号：23

期　　号：1

起止页码：80-84

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：用溶胶-凝胶法在导电的Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一种1μm厚的新型钽酸锂薄膜;采用直流电压对新制备的薄膜进行了极化;选择了电荷积分法,设计了与钽酸锂薄膜阻抗匹配的测试电路,组建了新的水浴搅拌加热的热释电系数测试系统,完成了薄膜的热释电系数测试。测试结果表明,钽酸锂薄膜有较好的热释电特性,在6V、15min极化条件下,测得热释电系数为122.8μC/m2K,测试精度为1.14%,说明新开发的测试系统对新材料热释电系数测试具有重要的实用价值。实验误差分析表明,采用适合的搅拌速度和加热功率、采用更高精度的温度传感器,设计完全匹配的测试电路,是进一步提高钽酸锂薄膜热释电系数测试精度的最有效途径。

关 键 词：钽酸锂薄膜  热释电系数 电荷积分法  测试  误差分析

分 类 号：TN215]