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期刊文章详细信息

纳米硅薄膜的光致发光特性  ( EI收录)  

PHOTOLUMINESCENCE STUDY ON HYDROGENATED NANO CRYSTALLINE SILICON FILM

  

文献类型:期刊文章

作  者:刘明[1] 何宇亮[1] 江兴流[1] 李国华[2] 韩和相[2]

机构地区:[1]北京航空航天大学应用物理系 [2]中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室

出  处:《物理学报》

基  金:国家自然科学基金

年  份:1998

卷  号:47

期  号:5

起止页码:864-870

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:1998074298835)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘  要:用等离子体增强化学汽相淀积法系统制备了发光纳米硅(ncSi∶H)薄膜.讨论了晶粒尺寸和表面结构对光致发光(PL)谱的影响.用量子限制发光中心模型解释了ncSi∶H的PL.研究了PL谱的温度特性.温度从10K上升到250K,PL峰值红移了54meV,且PL强度衰减了两个数量级.

关 键 词:PL谱 晶粒尺寸 纳米硅 薄膜  光致发光谱

分 类 号:O48]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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