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微型机械的特点、研究现状和应用 ( EI收录)
Characteristics,Progress and Applications of Micro Electro Mechanical System
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京航空航天大学振动工程研究所 [2]常熟高等专科学校机电系
年 份：1998
卷 号：18
期 号：1
起止页码：8-15
语 种：中文
收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：1998074265955)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：简明地叙述了微型机械的特点，综述了微型机械在国内外的研究现状，强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位，列举了微型机械应用的典型实例。最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。
关 键 词：微型机械 微电子机械系统 微系统 微型机器人
分 类 号：TH－39[机械类]
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