期刊文章详细信息
金属有机化学气相沉积制备铁电薄膜材料研究进展
Latest progress on preparation of ferroelectric thin films prepared by MOCVD process
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044 [2]重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆401331
基 金：中国博士后科学基金(编号20070410774);重庆市自然科学基金(编号CSTC2007BB4212);重庆市教育委员会科学技术研究项目(编号KJ071401)
年 份：2008
卷 号：45
期 号：6
起止页码：25-28
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：铁电薄膜是一类重要的功能材料,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一。金属有机化学气相沉积(MOCVD)是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了金属有机化学气相沉积法制备铁电薄膜的历史、原理、工艺参数、特点和采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。
关 键 词：金属有机化学气相沉积 铁电 薄膜 制备
分 类 号：O484] TB32[物理学类]
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