文献类型：期刊文章

作　　者：王立鼎[1,2] 褚金奎[1,2] 刘冲[1,2] 罗怡[2]

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116023 [2]大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连116023

出　　处：《机械工程学报》

基　　金：国家自然科学基金(50535030);国家高技术研究发展计划(863计划;2007AA04Z335)资助项目。

年　　份：2008

卷　　号：44

期　　号：11

起止页码：2-12

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20085011777097)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)制造工艺、非硅MEMS制造工艺等方面介绍了微系统设计与加工工艺研究进展。从物理量微传感器、微执行器件与系统、微纳生化传感与分析和微能源等方面介绍了微纳器件与微纳系统的研究进展,最后对中国微纳制造发展进行了总结和展望。

关 键 词：微纳制造  微电子机械系统 微传感器 微执行器

分 类 号：TF306]