期刊文章详细信息
磁控溅射碳纳米管SnO_2材料性能的研究
RESEARCH ON PERFORMANCE OF CARBON NANOTUBE-SnO_2 COMPOSITE MATERIAL BY MAGNETRON SPUTTERING
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]福州大学材料科学与工程学院,福州350002 [2]福州大学物理与信息工程学院,福州350002 [3]福建省微电子集成电路重点实验室,福州350002
年 份：2008
卷 号：29
期 号：3
起止页码：264-266
语 种：中文
收录情况：CAS、JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用磁控溅射的方法制备薄膜型碳纳米管SnO2气敏元件,通过对气敏元件在不同气体中的响应进行分析,以及对气敏元件进行SEM和XRD实验,研究碳纳米管SnO2材料的气敏性能。实验表明:磁控溅射碳纳米管SnO2气敏元件对NO2气体有很高的灵敏度,对其他气体不敏感。
关 键 词：磁控溅射 碳纳米管 SNO2 气敏元件 NO2
分 类 号：TB383[材料类]
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