期刊文章详细信息
STM探针电化学腐蚀装置的设计及实验研究
Design and Experimental Researches of Electrochemical Device for STM Tips
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]贵州大学电子科学与信息技术学院,贵州贵阳550025 [2]贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025
基 金：贵州省留学人员科技项目资助(Z073013);贵州大学研究生创新基金资助项目(校研理工2007017)
年 份：2008
期 号：5
起止页码：14-16
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文根据扫描隧道显微镜(STM)探针电化学腐蚀方法的特点,在总结其它STM探针电化学腐蚀装置的基础上,自制了STM探针电化学腐蚀装置。并用此装置进行探针制备的实验研究,摸索出了此装置制备高质量钨探针的较佳工艺条件,同时给出了所制探针的STM成像结果。
关 键 词：扫描隧道 显微镜(STM) 探针制备 电化学腐蚀装置
分 类 号：TH742]
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