期刊文章详细信息
电感耦合氩等离子体中电子密度及电子温度的测量
The Measurement of Electron Density and Electron Temperature in the Argon Inductively Coupled Plasma
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国地质大学化学系
年 份：1989
卷 号：8
期 号：5
起止页码：4-8
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、PROQUEST、RCCSE、RSC、ZGKJHX、核心刊
摘 要：电子密度n_e和电子温度T_e是描述ICP放电特性的重要参数。本文对ICP中n_e和T_e的测量从理论上进行了探讨,并根据文献提供的数据,经理论计算,分别与电子密度计算有关的两个系数C(n_e,T)和α_(1/2)(n_e,T)进行了扩展并编制成表。作者基于ICP—AES的实际测定条件,对不同操作参数下ICP中轴向电子密度n_e和电子温度T_e进行了测量,其实验结果与文献推荐值一致。
关 键 词：ICAP 等离子体 电子密度 电子温度
分 类 号：O536]
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