期刊文章详细信息
多晶硅太阳电池PECVD氮化硅钝化工艺的研究
The Si_xN_yH_z Passivation Study of Polycrystalline Silicon Solar Cells by PECVD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111
年 份：2008
卷 号：37
期 号：10
起止页码：46-48
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜。将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果。分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理。
关 键 词：PECVD 钝化 氮化硅 等离子体增强化学气相淀积 太阳电池 多晶硅
分 类 号：TK573] TN806.9]
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