期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]忻州师范学院物理系,山西忻州034000
年 份:2008
期 号:9
起止页码:78-79
语 种:中文
收录情况:普通刊
摘 要:介绍了真空蒸发镀膜的基本原理,对蒸发镀膜过程中影响镀膜厚度的因素进行了理论计算和实验分析,从而找出对镀膜厚度的影响规律。
关 键 词:真空蒸发镀膜 薄膜厚度 镀料质量
分 类 号:O435]
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